广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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许多设备在工作时都会产生磁场，比如，家用电冰箱的磁场强度约有10高斯（1mT），MRI 的磁场强度甚至会高达 3T；尽管可以采取屏蔽等措施，仍然可能会有外漏的杂散磁场，对工作在附近的分子泵产生不好的影响。

MACHINA中应用的真空产品

MACHINA 工作时需要稳定的真空环境，以避免高速粒子束和残留气体分子之间的任何相互作用，该项目设计团队选择了安捷伦的涡轮分子泵作为主泵。安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑，可以任意角度安装，而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动；对于一个紧凑便携的系统而言，这些特点至关重要。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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使用经过加速的离子束照射被测的表面，通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析，具有快速直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。

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测试条件和装置

被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。

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分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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扩散泵工作时，从喷塔高速喷射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并从油池边缘向中心流动，在流动的过程中，油的温度逐渐升高，油中沸点比较低的小分子组分，在靠近油池边缘的地方就会汽化，而沸点比较高的大分子组分，则会在靠近油池中心的地方汽化。一般的扩散泵喷塔各级喷嘴之间是互相联通的，而安捷伦扩散泵的喷塔各级喷嘴彼此独立，特别是喷塔，只有沸点高的大分子油蒸汽才会从这里喷出，这一特点不仅扩散泵极限真空很好，而且由于高沸点的泵油更不容易二次挥发，使得泵的返油率很低。